基本信息
CAS(化学文摘登记)号
1314-84-7
中文名称
磷化锌
英文名称
Zinc Phosphide
分子式
Zn3P2
分子量
258.12
物理性质
外观
1-20 毫米颗粒
密度
4.55g/cm³
熔点
1160℃
沸点
其他信息
详细规格
纯度
4N (99.99%), 5N (99.999%), 6N (99.9999%)
分析方法
包装
每瓶1公斤，瓶外采用铝塑复合膜真空包装。
用途
芯片扩散源用于半导体制造过程中，将特定的杂质（掺杂剂）引入芯片表面，以改变材料的电学性质。扩散源可以是固态、液态或气态，常用于掺杂扩散和离子注入等工艺中。