磷化锆 Zirconium Phosphide (ZrP) CAS 12037-72-8
基本信息
CAS(化学文摘登记)号
12037-72-8
中文名称
磷化锆
英文名称
Zirconium Phosphide
分子式
ZrP
分子量
122.19
物理性质
外观
灰色粉末
密度
4.75g/cm³
熔点
2040℃
沸点
其他信息
详细规格
纯度
4N (99.99%)
分析方法
ICP-MS（99.99%，所有杂质低于100 ppm），XRD（主峰完美对称）
包装
它被真空包装在瓶中，并由惰性气体保护。
用途
芯片扩散源用于半导体制造过程中，将特定的杂质（掺杂剂）引入芯片表面，以改变材料的电学性质。扩散源可以是固态、液态或气态，常用于掺杂扩散和离子注入等工艺中。
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